愛普生的QMEMS技術(shù)是一個造詞。由兩部分組成:【QUARTZ】+【MEMS】的簡寫。
MEMS全稱Micro Electromechanical System(機電系統(tǒng))。是指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,是一個獨立的智能系統(tǒng)。
愛普生QMEMS技術(shù)是具有高安定、高精度等優(yōu)越性能的石英材料【QUARTZ】和【MEMS】組合而成的造詞。與以硅為材料的MEMS相對應,通過光刻技術(shù)以石英為原料進行精微加工,進而提供小型化、高性能的晶體元器件被稱為【QMEMS】
由此可知QMEMS其含義就是通過光刻技術(shù)在實現(xiàn)石英晶振高性能前提下的超小型化。
我們知道對電子元器件進行小型化時,通常會出現(xiàn)性能的劣化。但是市場需求的是既達到小型化又不改變性能的電子元器件。小型、低耗電、高穩(wěn)定、高頻、高精度?!窺MEMS」正是針對了這些市場需求的晶體元器件。在實現(xiàn)超小型化的情況下保持石英晶振的高品質(zhì),就是QMEMS的技術(shù)核心,也正是EPSON晶振作為全球頂尖晶振品牌的核心能力所在。
1、實現(xiàn)晶振更微小從外部尺寸;
2、更優(yōu)越的溫度頻率特性;
3、一致性更好;
4、無跳頻問題;
5、更高的基頻;
6、低ESR:高震蕩裕度和Q值;
7、減少遲滯現(xiàn)行
8、100%光學檢查;
舉個實例:從下圖可以看出使用光刻加工技術(shù),可以使石英晶體芯片的形狀保持均一。與機械加工(左)相比,即使是超小型石英晶體單元,也可以實現(xiàn)不均度少的優(yōu)越的溫度特性(右)
2.0×1.6 mm規(guī)格的AT型晶體(26 MHz)的頻率溫度特性
1、將音叉型晶體芯片進行小型化時,CI值(石英振蕩損失的基準)會變大,所以存在著難以取得良好的發(fā)振特性的小型化的界限。Epson使用光刻工藝,克服了這個界限。從而實現(xiàn)了超小型化。例如:
FC-12M (2.05×1.2×0.6tmm)
FC-135 / FC-135R (3.2×1.5×0.8tmm)
FC-255(4.9×1.8×0.8t mm)
SG-3030CM(3.2×1.5×0.9t mm)
SG-3030LC(3.6×2.8×1.2t mm)
SG-3040LC(3.6×2.8×1.2t mm)
RX8900CE(3.2×2.5×0.9t mm) Max.
RX8130CE(3.2×2.5×0.9t mm) Max.
RX-4574LC(3.6×2.8×1.2tmm) Max.
RX-4571LC(3.6×2.8×1.2tmm) Max.
2、高基頻HFF晶體振蕩器和晶體諧振器。提高晶體單元的頻率時需要減少芯片的厚度,但是從前的加工方法在減少厚度時存在著界限。Epson通過使用光刻工藝,只減少驅(qū)動電極附近的厚度(逆臺型構(gòu)造),既能保持強度,又克服了這個界限。從而實現(xiàn)了在100MHz以上的高頻帯內(nèi)的基本頻率發(fā)振。常用型號如:
SPXO
SG-770series(7.0×5.0×1.6tmm)Typ.
SG-771PCD(7.0×5.0×1.6tmm)Typ.
VCXO
VG-4501CA(7.0×5.0×1.6tmm)Typ.
VG-4502CA(7.0×5.0×1.6tmm)Typ.
VG-4512CA(7.0×5.0×1.6tmm)Typ.
VG-4513CB(5.0×3.2×1.3tmm)Typ.
3、AT型晶體如FA-128、有源晶體振蕩器如SG-210STF、以及小尺寸高精度溫補晶振的TG-5006CJ、TG2016SBN、TG2520SBN等。
數(shù)字技術(shù)、寬帶技術(shù)在網(wǎng)絡社會中無處不在,為了滿足客戶的需要,SEIKO EPSON遵循既定的3D戰(zhàn)略,擴充【定時器件】、【傳感器件】、【光學器件】三類元器件產(chǎn)品進行“水平展開”,并依托三類產(chǎn)品組合開拓“縱向發(fā)展”,提供領(lǐng)先市場的具有卓越品質(zhì)的產(chǎn)品。EPSON TOYOCOM公司提供的QMEMS,利用超精微加工技術(shù)MEMS充分發(fā)揮石英材質(zhì)的特性生產(chǎn)出高附加值的石英器件,技術(shù)拓展3D戰(zhàn)略啦滿足顧客的寬帶化需求,一個無處不在的先進網(wǎng)絡市場。 在各類終端都可以經(jīng)過LAN(局域網(wǎng))、WAN(城域網(wǎng))實現(xiàn)全球信息傳輸?shù)沫h(huán)境下,石英晶體器件已經(jīng)成為核心設備。EPSON TOYOCOM公司可以對應網(wǎng)絡環(huán)境中的所有需求,公司針對工業(yè)品、終端類的消費品,從民用領(lǐng)域,基礎(chǔ)通信領(lǐng)域、車載系統(tǒng)、工業(yè)設備等各個產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,提供了整合解決方案。
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